上海瞻馳光電技術有限会社

この装置は、6/8インチ（150mm / 200mm）のシリコンウェーハの周縁を研磨布でプレスすることにより、シリコンウェーハの縁（ノッチVNまたは基準面OF）を超精密研磨するための装置です。 （注：V-NOTCHはVNと省略され、ギャップを意味します。FLATはOFと省略され、参照面を意味します）